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产品分类
产品简介
设备名称:滚轮式紫外纳米压印设备
型号:GD-N-03
设备性能:
兼容4,6,8英寸晶圆
全自动晶圆传送,可进行小批量生产
*低线宽小于20nm
压印深宽比至10:1
可进行斜齿光栅压印
兼容高刻蚀比压印胶压印
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设备名称:滚轮式紫外纳米压印设备
型号:GD-N-03
设备性能:
兼容4,6,8英寸晶圆
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*低线宽小于20nm
压印深宽比至10:1
可进行斜齿光栅压印
兼容高刻蚀比压印胶压印